制御機器・センサ・建物向け設備

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気体流量計

CMS,CMR,CMG,MCS,MVC,CMQ-V,MPC

概要

さまざまなプロセスにおける気体の流量を測定する機器です。


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マスフローメータ(流量レンジ〜1500L/min)
CMS

特長

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部にアズビル(旧:山武)独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。


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電池式マスフローメータ
CMR

特長

気体用マスフローメータ CMRは、アズビル(旧:山武)独自開発のμF(マイクロフロー)センサを用い、高性能計測と扱いやすさを同時に実現したマスフローメータです。また、CMRは従来の熱式マスフローメータでは難しかった電池駆動方式を採用。電源配線を不要としたため浮子式流量計からの置き換えが容易に行えます。


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ガス流量モニタ
CMGシリーズ

特長

ガス流量モニタ CMGシリーズは、検出部に熱式流量センサであるマイクロフローセンサチップを応用したガスバーナの燃料流量を計測する流量計です。
温度・圧力の換算を必要とせず、基準状態での体積流量を計測し瞬時流量表示や積算流量表示が可能です。さらにアラーム接点出力、アナログ出力による瞬時流量出力、オープンコレクタ出力による積算パルスまたはイベント出力*をもっています。
これらの機能でバーナ単位のきめ細かい空気比管理や装置の流量管理ができます。


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吸着確認用フローセンサ
MCS

特長

吸着確認用フローセンサMCSシリーズは、微小チップ部品の吸着確認を独自開発の質量流量センサにて実現した製品です。
また、吸着確認用途以外の様々な流量計測ニーズにもお応えします。


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エア管理用フローメータAIRcube(MVC)

特長

エア管理用フローメータAIRcube は、エア、窒素の流量測定に必要な機能を一体化したコンパクトな流量計です。
温度・圧力が変動する工場エア、窒素ガス添加ラインや食品、飲料などの酸化防止を目的とする窒素ガス充填などのアプリケーションにも高精度に質量流量を測定できます。コスト表示機能、リークチェック機能など省エネルギー管理に役立つ各種機能を有し幅広い用途に使用できます。


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デジタルマスフローコントローラ CMQ-V

特長

デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズは、検出部にアズビル(旧:山武)独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用し、高度なPID制御技術にて比例アクチュエータを駆動する高性能な気体用質量流量コントローラです。
高速制御、低差圧動作、広い流量制御範囲の実現など、最先端のニーズにしっかりお応えします。
多彩な製品バリエーションをご用意し、お使いいただけるアプリケーションがさらに広がりました。


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パネルマウントマスフローコントローラ
MPC

特長

  • 小型・軽量(マスクサイズ :□48mm、奥行き:73.7mm、300g)
  • 簡単操作・見やすいデジタル表示
  • 高速制御(設定値到達まで 1 sec !!)
  • 多彩な機能を装備!
  • 流量積算
  • 流量警報出力
  • マルチ流量設定
  • ガス種類切替え
  • スロースタート
  • 自動遮断機能
  • アナログ入出力(Opt.)
  • RS-485通信機能(Opt.)
  • パソコンローダ など。
  • 設置性の容易性